广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技-Edwards二手分子泵用途

广州潽拓光电科技有限公司

  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
  • 公司地址:广州市番禺区化龙镇潭山环村公路1-1号
咨询热线: 13728080527
立即咨询 QQ咨询
信息详情

潽拓——{精},分子泵

广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养





主要特性和优势

       占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。

       受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

          超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

        运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。


企业视频展播,请点击播放
视频作者:广州潽拓光电科技有限公司






潽拓——Edwards二手分子泵,分子泵

Edwards爱德华 STP h200c设备泵维修保养






     Edwards爱德华STP-H200C分子泵维修Seiko Seiki STP-200/STP-H200C/STP-H200C1日本精工精机分子泵进气法兰口VG100/ISO100/ICF152,出气法兰口KF25,抽速可达到270L/s,转速为48000rpm,VG/ISO法兰口极限压力10-7Pa(10-9Torr),ICF法兰口极限压力10-8Pa(10-10Torr)。


潽拓——Edwards二手分子泵,真空泵

维修二手 Edwards nxds15i 干涡旋泵,潽拓光电维修分子泵



      爱德华Edwards nXDS 泵在其他涡旋泵的基础上进行优化,提高了抽速,获得了更限真空、更低功耗和噪声。借助气镇功能可以对可冷凝蒸汽(包括水、溶剂、稀酸和碱)进行抽真空。nXDS 泵还采用了新的端面密封技术,显著延长了端面密封条更换的时间间隔。

      Edwards nXDS-C是改进型,更适用于水蒸气以及某些具有腐蚀性物质的应用。这个耐化学腐蚀的版本是基于Chemraz内阀以及不锈钢材料。nXDS-R型不带气镇因此它不能被突然打开。它可应用于稀有气体的再循环或者气体回收。